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FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器

產(chǎn)品時間:2021-08-27

簡要描述:

FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

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產(chǎn)品簡介:

FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片來制作,適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

產(chǎn)品特點

FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器靈敏度高,有小的始動流量傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高傳感器的零點穩(wěn)定度高全量程高穩(wěn)定性全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性低功耗低壓損響應(yīng)時間快
主要參數(shù):

性能參數(shù)

FS4001

單位

通 徑

1.0

1.8

mm

大流量

30, 100, 200

500, 1000

SCCM

量程比

≥100:1

 

精 度

±(1.5+0.2FS)

%

重復(fù)性

0.25

%讀數(shù)

零點輸出飄移

±30

mV

輸出飄移

±0.12

%/oC

響應(yīng)時間

4, 8, 16, 33 , 65 , 131

mses

工作電源

8~18Vdc,50mA

 

輸出方式

線性,RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc

 

大流量壓損

350

300

pa

大工作壓力

0.5

MPa

工作溫度

-10 ~ +55

oC

存儲溫度

-20 ~ +65

oC

工作濕度

<95%RH(無結(jié)冰、無凝露)

 

機械接口

可拆式軟管接頭

 

校準方式

空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa

 

重量

15

g

機械尺寸:

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